论文部分内容阅读
介绍了富安公司在数控砂轮划片机开发、试制过程中一些做法与体会，我们在收集国内外有关资料的同时，充分运用公司在数控系统的开发和机械设计制造上积累的丰富经验，将机床制造技术用于IC装备的开发制造。并阐述了Z轴动态零位设置功能、Y轴高精度定位、CCD视觉找准系统、工作台盘（吸盘）气槽加工、主轴系统开发等技术，还对公司目前已投产的SFA-0024T6″及SFA-0511T8″划片机的技术参数及特点作了简介。