Modification of C-implanted c-SiO_2 Induced by Heat Treatment

来源 :近代物理研究所和兰州重离子加速器实验室年报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：mzl521fnn1314

【摘要】

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<正>Crystalline SiO2 (c-SiO2) samples were implanted at room temperature (RT) with 120 keV C-ions and the selected implantation doses were 2.0×1017, 5.0&#2

【作者】

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Wang Zhiguang Zhao Zhiming Son

【出处】

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近代物理研究所和兰州重离子加速器实验室年报：英文版

【发表日期】

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2005年1期

【关键词】

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二氧化硅热处理改性诱导离子注入剂量 SiO2 真空退火红外光谱

【基金项目】

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Supported by National Natural Science Foundation of China （10125522 10475102）

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<正>Crystalline SiO2 (c-SiO2) samples were implanted at room temperature (RT) with 120 keV C-ions and the selected implantation doses were 2.0×1017, 5.0×1017, 8. 6×1017 and 1. 2×1017 C/cm2. These samples were annealed in vacuum un

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