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如何不详细地了解气源杂质的分布曲线，而只是简单地规定所有气体纯度等级，就不能充分确保优质气体均一地输送到工艺过程中。例兴了等离子体刻蚀工艺。
高纯等离子体工艺气体中痕量杂质的影响及特性
【摘 要】
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如何不详细地了解气源杂质的分布曲线，而只是简单地规定所有气体纯度等级，就不能充分确保优质气体均一地输送到工艺过程中。例兴了等离子体刻蚀工艺。
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2000年5期
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