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1规范制订的背景和依据 X射线单晶体定向仪(以下简称定向仪)是测量单晶体晶面角度的专用计量仪器，它广范地应用在晶体切割、研磨和半导体器件加工等生产中的测量仪器，相当于生产线上的卡尺和角度尺一样应用那样普遍。
关于《X射线单晶体定向仪校准规范》的探讨
【摘 要】
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1 规范制订的背景和依据 X射线单晶体定向仪（以下简称定向仪）是测量单晶体晶面角度的专用计量仪器，它广范地应用在晶体切割、研磨和半导体器件加工等生产中的测量仪器，相当于生产线上的卡尺和角度尺一样应用那样普遍。 随电子工业不断发展，对定向仪的需求量越来越大，技术水平要求越来越高，品种规格需要越来越多，使用单位分布越来越广，遍布全国各地，尤其是沿海各省和中部省区。定向仪对单晶体的晶面角度检测和精确
【机 构】
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丹东市计量测试技术研究所,辽宁丹东,110004
【出 处】
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品牌与标准化
【发表日期】
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2014年8期
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