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介绍了硅材料本征载流子浓度ｍｉ、禁带宽度Ｅｇ、电子和空穴有效质量ｍｎ和ｍｐ及载流子迁移率μ的高温模型和计算结果。其中ｎｉ、Ｅｇ和ｍｎ、ｍｐ模型分别适用于３００￣１２００Ｋ和３００￣７００Ｋ，μ的模型在２５０￣５００Ｋ宽温区及１０＾１３￣１０＾２０ｃｍ＾－３杂质浓度范围内，最大误差小于１３％。
硅材料基本物理参数的高温模型与计算
【摘 要】
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介绍了硅材料本征载流子浓度ｍｉ、禁带宽度Ｅｇ、电子和空穴有效质量ｍｎ和ｍｐ及载流子迁移率μ的高温模型和计算结果。其中ｎｉ、Ｅｇ和ｍｎ、ｍｐ模型分别适用于３００￣１２００Ｋ和３００￣７００Ｋ，μ的模型在２５０￣５００Ｋ宽温区及１０＾１３￣１０＾２０ｃｍ＾－３杂质浓度范围内，最大误
【机 构】
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东南大学微电子中心
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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1996年4期
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