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本文以光开关为切入点叙述了微电子机械系统技术的特点和优点，并介绍了几种新近开发的光开关实例。
微电子系统光开关
【摘 要】
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本文以光开关为切入点叙述了微电子机械系统技术的特点和优点，并介绍了几种新近开发的光开关实例。
【机 构】
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浙江工商大学信息与电子工程学院
【出 处】
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科技创新导报
【发表日期】
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2009年12期
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