【摘 要】
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采用氮氧共注入方法制备了新型的 SIMON(separation by implanted oxygen and nitrogen) SOI材料 .采用不同的制备方法分别制作出样品并进行了结构测试和分析 ,发现 SIMON材
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室,香港中文大学电子工程系,中国科学院上海
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采用氮氧共注入方法制备了新型的 SIMON(separation by implanted oxygen and nitrogen) SOI材料 .采用不同的制备方法分别制作出样品并进行了结构测试和分析 ,发现 SIMON材料的结构和质量对注入条件和退火工艺非常敏感 .并对各种氮氧复合注入技术做了分析和比较 ,发现氮氧分次注入可以得到更好的结构和性能
A new SIMON (separation by implanted oxygen and nitrogen) SOI material was prepared by nitrogen-oxygen co-injection method.According to the different preparation methods, the samples were fabricated and the structures were tested and analyzed. The results showed that the structure and quality of SIMON The annealing process is very sensitive.Analyzing and comparing various nitrogen and oxygen composite injection technologies, it is found that nitrogen and oxygen sub-injection can get better structure and performance
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