Modelling and optimization of f ilm thickness variation for plasma enhanced chemical vapour depositi

来源 :ChineseOpticsLetters | 被引量 : 0次 | 上传用户:cl157967874
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
This letter describes a method for modelling film thickness variation across the deposition area within plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) processes. The model enables identification and optimization of film thickness uniformity. Comparison between theory and experiment is provided for PECVD of diamond-like-carbon (DLC) deposition onto flat and curved substrate geometries. Results show DLC uniformity of 0.30% over a 200-mm flat zone diameter within overall electrode diameter of 300 mm. Use of the modelling method for PECVD using metal-organic chemical vapour deposition (MOCVD) feedstock is demonstrated, specifically for deposition of silica films using metal-organic tetraethoxy-silane.
其他文献
The principle of broad-band orthogonal-pump (BOP) four-wave mixing in semiconductor optical amplifiers is analyzed in theory. The conversion efficiency reduces rapidly as the detuning of wavelength between the signal and pump increase which can be solved
期刊
衍射受限的相干光成像研究中,存在两种计算公式,一种是在特定近似条件下导出的单透镜成像系统像光场振幅分布计算公式,可以推广到多元件构成的光学系统中。另一种是直接计算光学系统像光场振幅及相位分布的公式。为了分析两种公式的实用价值,以两个透镜组成的成像系统为例,在不同空间位置放置孔径光阑,对比了两种公式的理论计算与实验测量结果。
Event-based cameras generate sparse event streams and capture high-speed motion information, however, as the time resolution increases, the spatial resolution will decrease sharply. Although the generative adversarial network has achieved remarkable resul
期刊
期刊
作者于1982年10月3日至11月4日赴日本进行了为期三十余天的学术交流和访问。前后参观访问了位于东京市的理化学研究所和电气通信大学、位于日本科学城筑波的通产省工业技术院电子技术综合研究所、位于横滨市的庆应大学以及位于大阪市的大阪大学等单位。粗略地了解到日本几个较大的激光研究单位的发展现状。
期刊
期刊
相同重量的金刚石,其价格可以有很大差别。给金刚石标价的方法,必须配合品质检验技术的发展而发展。直到现在,宝石的品质大部份是靠人的感觉来检验的。如果在控制条件下,用激光与宝石相互作用来检验,就可以得到足够的数据,以便对商品化宝石做出定量指标。
期刊
目前,对于金属蒸汽激光器,计算和实际上所得到的输出参量(首先是效率)之间存在的不相符合,使人们比较集中地注意确定这些参量的过程的动力学。通常,在金属蒸汽激光器中采用由金属蒸汽和缓冲气体组成的双成分混合气体。不久以前认为,缓冲气体的主要作用在于引发放电,造成放电工作的热状态以及由于从放电区到放电管冷区的扩散而减小金属原子通量。
期刊
An offset quadrature amplitude modulation orthogonal frequency-division multiplexing (OQAM-OFDM) passive optical network (PON) architecture with direct detection is brought up to increase the transmission range and improve the system performance. In optic
期刊