原子级平整硅基底的制备

来源 :河北师范大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：khl0907

【摘要】

：

采用RCA方法与Piranha溶液处理相结合,对单晶硅表面超声腐蚀处理,接触角、原子力显微镜(AFM)表征结果显示获得了平整高羟基密度的氧化物表面.采用水相硅烷化,将3-氨基丙基-三

【作者】

：

吴育飞胡瑞省

【机构】

：

河北师范大学化学学院,石家庄师范专科学校化学系

【出处】

：

河北师范大学学报

【发表日期】

：

2002年4期

【关键词】

：

硅基底制备自组装性能原子级平整表面 RCA方法 Piranha溶液处理半导体材料 silicon substrate preparation sel

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采用RCA方法与Piranha溶液处理相结合,对单晶硅表面超声腐蚀处理,接触角、原子力显微镜(AFM)表征结果显示获得了平整高羟基密度的氧化物表面.采用水相硅烷化,将3-氨基丙基-三甲氧基硅烷(APS)组装在湿化学法处理的单晶硅表面上,AFM和X-射线光电子能谱(XPS)研究表明得到了平整均匀的氨基自组装膜.

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