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随着MEMS（MicroElectroMechanicalSystem）技术的深入研究取得的进展，MEMS陀螺（也称微机械陀螺）已经成为过去几十年内广泛研究和发展的主题。MEMS陀螺与传统的机械陀螺、固体陀螺、光学陀螺等相比，具有成本低、尺寸小、重量轻、可靠性高、功耗低等优点，其精度正不断得到提高，应用领域也随之不断扩大。MEMS陀螺已成为未来战术级和中低精度导航应用的主流惯性传感器。美国Honeywell公司HG1900、HG1930等组件中均使用了MEMS陀螺，并成功的应用于联合制导弹药（JDAM）等