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1988年,Pennycook等人用HB501 STEM,首次得到YBa2Cu3O7-x的原子序数衬度像(以下简称Z衬度像),随后又发展出Z衬度像的成像方法和理论.1993年Browning和Pennycook又实现了与分辨率为0.13nm的Z衬度像同步的原子级空间分辨率的EELS分析.从此,一种高分辨扫描透射成像技术-Z衬度像在材料微观分析方面崭露头角,成为当代电子显微学发展的新领域.