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论述了化学气相沉积h-BN陶瓷的主要性能及其在微波管中的应用优势,并对国内外化学气相沉积h-BN陶瓷的性能、微观结构以及在微波管中的应用情况进行了比较.
气相沉积h-BN陶瓷的应用
【摘 要】
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论述了化学气相沉积h-BN陶瓷的主要性能及其在微波管中的应用优势,并对国内外化学气相沉积h-BN陶瓷的性能、微观结构以及在微波管中的应用情况进行了比较.
【机 构】
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北京真空电子技术研究所
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2005年5期
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