【摘 要】
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利用固结磨粒自旋转磨削加工方法,通过金刚石磨削和化学机械磨削实现了蓝宝石晶片的高效、高质量平坦化加工。采用不同磨粒粒径的金刚石砂轮实现了蓝宝石晶片较高的材料去除率或较好的表面质量。开发了高磨粒浓度Cr2O3砂轮,采用化学机械磨削对金刚石磨削后的蓝宝石晶片进行平坦化加工。实验结果表明,化学机械磨削能够去除金刚石磨削的表面和亚表面缺陷,最终获得表面粗糙度Ra<1 nm、无/微损伤的蓝宝石晶片。通过理论分析单颗金刚石磨粒的磨削力,发现磨粒粒径是影响材料去除率和表面质量的主要影响因素。通过XPS分析证明了C
【机 构】
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宁波大学机械工程与力学学院,茨城大学工学院,浙江工业大学超精密加工中心
【基金项目】
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国家自然科学基金(51905280),宁波市自然科学基金(2019A610153),宁波市科技创新2025重大专项(2018B10004)。
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利用固结磨粒自旋转磨削加工方法,通过金刚石磨削和化学机械磨削实现了蓝宝石晶片的高效、高质量平坦化加工。采用不同磨粒粒径的金刚石砂轮实现了蓝宝石晶片较高的材料去除率或较好的表面质量。开发了高磨粒浓度Cr2O3砂轮,采用化学机械磨削对金刚石磨削后的蓝宝石晶片进行平坦化加工。实验结果表明,化学机械磨削能够去除金刚石磨削的表面和亚表面缺陷,最终获得表面粗糙度Ra<1 nm、无/微损伤的蓝宝石晶片。通过理论分析单颗金刚石磨粒的磨削力,发现磨粒粒径是影响材料去除率和表面质量的主要影响因素。通过XPS分析证明了C
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