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文章报道了820离子源在600kV离子注入机上的应用。已经从820离子源引出了20个以上的离子品种应用于半导体、金属和绝缘体的材料改性研究。还讨论了离子束流污染问题。
820离子源在600KV离子注入机上的应用
【摘 要】
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文章报道了820离子源在600kV离子注入机上的应用。已经从820离子源引出了20个以上的离子品种应用于半导体、金属和绝缘体的材料改性研究。还讨论了离子束流污染问题。
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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1989年4期
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