【摘 要】
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报道了溶胶－凝胶工艺制备的ＫＤＰ晶体保护膜、增透膜和它们的性能。多孔二氧化硅增透膜峰值透射率大于９９％，膜层折射率约１．２３。对１．０６μｍ，脉宽约１ｎｓ的激光，单层膜的激光破坏阈值约１０Ｊ／ｃｍ２左右，有保护膜和增透膜
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报道了溶胶－凝胶工艺制备的ＫＤＰ晶体保护膜、增透膜和它们的性能。多孔二氧化硅增透膜峰值透射率大于９９％，膜层折射率约１．２３。对１．０６μｍ，脉宽约１ｎｓ的激光，单层膜的激光破坏阈值约１０Ｊ／ｃｍ２左右，有保护膜和增透膜的膜层激光破坏阈值约５～８Ｊ／ｃｍ２。
The KDP crystal protective films, AR coatings and their properties prepared by sol-gel process are reported. Porous silica AR transmittance greater than 99%, the refractive index of the film is about 1.23. The laser damage threshold of the monolayer film is about 10J / cm2 for a 1.06μm laser with a pulse width of about 1ns. The laser damage threshold of the film with the protective film and the AR coating is about 5 ~ 8J / cm2.
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