论文部分内容阅读
本文叙述了多极磁约束的反应离子刻蚀装置。该装置具有结构简单,低损伤和各向异性刻蚀的优点。在射频率为100W,工作压强为1.33Pa氩气氛中,典型的离子密度为)1.0-1.5)×10^19cm^-3,电子温度为1.0-4.1eV,等离子体电位10-50V,有磁场的离了密度比没有磁场的离子密度大几个数量级。