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期刊论文
应用于RF MEMS的可集成压力监控技术
应用于RF MEMS的可集成压力监控技术
来源 :城市道桥与防洪 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gengyuefeng009
【摘 要】
:
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
【机 构】
:
Semiconductor International
【出 处】
:
城市道桥与防洪
【发表日期】
:
2006年5期
【关键词】
:
应用
可集成
压力
监控技术
RF MEMS
真空环境
制造方法
真空测量
设计功能
器件
加速度计
机械共振
封装腔体
微机械
密歇根
小组
人员
开发
封帽
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该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥主桥连续预应力混凝土变截面箱梁2#~7#块、8#、8
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