【摘 要】
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本文详细地描述了隙式耦合声表面波卷积器的制造过程与方法.我们发展了一种较简单的形成均匀空气隙的技术,即在压电体基底上起积均匀的SiO_2薄膜,作为空气隙的支持物,获得±0
【机 构】
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中国科学院声学研究所,中国科学院声学研究所,中国科学院声学研究所
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本文详细地描述了隙式耦合声表面波卷积器的制造过程与方法.我们发展了一种较简单的形成均匀空气隙的技术,即在压电体基底上起积均匀的SiO_2薄膜,作为空气隙的支持物,获得±0.9dB的均匀度.器件的性能良好,卷积效率较高,F_(Te)=-50dBm,动态范围大于70dB,信杂比优于35dB.
This article describes in detail the manufacturing process and method of a slot-coupled surface acoustic wave convolver.We have developed a simpler technique of forming a uniform air gap by forming a uniform SiO 2 film on the piezoelectric body as Air gap supporter with ± 0.9dB uniformity.The performance of the device is good with high convolution efficiency, F_ (Te) = -50dBm, dynamic range greater than 70dB and signal to noise ratio better than 35dB.
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