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用化学沉积方法在沉积温度为90℃下制备了CdS薄膜。研究了直接退火处理和涂敷CdCl2甲醇饱和溶液后退火处理对CdS薄膜的影响。利用X射线衍射、扫描电子显微镜对薄膜的晶体结构、表面形貌进行了研究，发现没有任何处理的CdS薄膜没有明显的晶型；直接退火处理促进了CdS立方相的结晶，晶粒没有增大且生长出许多细小的晶粒；涂敷CdCl2甲醇饱和溶液后退火处理不仅极大地促进了CdS六角相的结晶，而且晶粒增粗增大，表面更加光滑。用吸收光谱研究了薄膜的光学特性，发现退火使薄膜的禁带宽度变窄，涂敷CdCl2甲醇溶液后退火处