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用脉冲激光沉积（PLD）方法,在蓝宝石（0001）衬底上,制备了高度c轴取向的Zn1-xCoxO（x=0,0.02,0.05,0.07,0.1）薄膜。X射线衍射（XRD）分析表明,当钴掺杂量≤10mol%时没有出现其他杂峰,即没有出现分相。XPS分析显示Co离子在薄膜中以＋2价的形式存在。进一步验证Co^2＋离子进入ZnO的晶格,对掺钴浓度不同的样品进行了UV-Vis吸收光谱测量。从UV-Vis吸收光谱可以看出随着掺杂浓度的增加,带隙逐渐变窄,证明Co^2＋取代了Zn2＋而进入了ZnO晶格中。从原子力显微