Teflon／Al2O3纳米复合膜的结构及微观摩擦学特性

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【摘要】

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为了提高聚四氟乙烯的耐磨损能力,用射频磁控溅射法交替溅射纯Teflon靶和Al2O3靶获得Teflon/Al2O3多层复合膜,通过PHI-5300ESCA型X射线光电子能谱及原子力显微镜(AFM)对其结

【作者】

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贾慧娟汤卉邵俊鹏

【机构】

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哈尔滨理工大学,哈尔滨理工大学

【出处】

：

哈尔滨理工大学学报

【发表日期】

：

2003年1期

【关键词】

：

Teflon/Al2O3纳米复合膜结构微观摩擦学特性多层组合膜聚四氟乙烯磨损 EMP瓦弹性金属塑料瓦 multilayer Teflon A12O3

【基金项目】

：

黑龙江省哈尔滨市科技攻关项目

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为了提高聚四氟乙烯的耐磨损能力,用射频磁控溅射法交替溅射纯Teflon靶和Al2O3靶获得Teflon/Al2O3多层复合膜,通过PHI-5300ESCA型X射线光电子能谱及原子力显微镜(AFM)对其结构、力学性能和微观摩擦磨损特性研究表明:Teflon/Al2O3多层复合膜不但具有Al2O3膜的较高硬度和抗磨损性能,而且具有纯Teflon膜的减摩性和高承载能力.同Al2O3相比,复合膜的综合性能优于纯Al2O3膜和纯Teflon膜.Teflon/Al2O3多层复合膜的研制,解决了弹性金属塑料瓦耐磨损能力

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