Ohmic contact properties of p-type surface conductive layer on H-ter- minated diamond films prepared

来源 :矿物冶金与材料学报:英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:boymaster
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与高免职率和大免职区域的优点,多晶的钻石电影由直接电流(DC ) 准备了喷气化学药品蒸汽免职(CVD ) 被考虑是为高周波、高力量的电子设备的最有希望的材料之一的弧。在这份报纸,有 100 公里的直径的高质量的自我站的多晶的钻石电影被 DC 弧喷气 CVD 准备,然后, p 类型表面有终止 H 的钻石电影上的 10111013 cm2 的表搬运人密度的传导性的层被微波氢血浆处理为 40 min 获得。Ti/Au 和 Au 电影作为欧姆的接触电极在终止 H 的钻石表面上被扔分别地,以后,他们被快速的真空在不
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