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5-硝基二氢苊的光氧化作用在无显影气相光刻中起着重要作用。我们通过红外,核磁共振、色质联用等手段对其光氧化产物进行了分析,并合成了有关化合物进行对照,确认5-硝基二氢苊的主要光氧化产物是5-硝基苊、5-硝基二氢苊酮、羟基-5-硝基二氢苊。
5—硝基二氢苊在无显影气相光刻中的光致诱蚀作用...：...
【摘 要】
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5-硝基二氢苊的光氧化作用在无显影气相光刻中起着重要作用。我们通过红外,核磁共振、色质联用等手段对其光氧化产物进行了分析,并合成了有关化合物进行对照,确认5-硝基二氢
【机 构】
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清华大学化学系,清华大学化学系北京100084,北京100084,北京100084
【出 处】
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感光科学与光化学
【发表日期】
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1992年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金,,北京市重点自然科学基金资助项目
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