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为改善NiTi合金的表面性能,利用2 kW连续波Nd:YAG对NiTi合金进行激光气体氮化处理,采用SEM、TEM、XRD、XPS和纳米压痕研究了氮化层的显微组织及表面特征.结果表明:激光气体氮化可以在NiTi合金表面制备连续、无裂纹、厚度为2 μm的TiN表面层,该表面层中基本不含有Ni元素且具有很高的硬度,其纳米压痕硬度为29.28 GPa.