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介绍了光学湿度传感器及其机理，阐述了光湿敏薄膜材料与制备方法，总结了光学湿度传感器的发展现状，重点介绍了近年来发展的各种光学检测方法，最后提出了光学湿度传感器今后的研究发展方向。
光学湿度传感器
【摘 要】
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介绍了光学湿度传感器及其机理，阐述了光湿敏薄膜材料与制备方法，总结了光学湿度传感器的发展现状，重点介绍了近年来发展的各种光学检测方法，最后提出了光学湿度传感器今后的研究发展方向。
【机 构】
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上海理工大学光学与电子工程信息学院,上海200093上海理工大学理学院光电功能薄膜实验室,上海200093
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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2007年44期
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