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氧化锌作为新一代化合物半导体，其禁带宽度对应紫外光的波长。氧化锌薄膜有望开发蓝光、蓝绿光、紫外光等多种发光器件，具有广阔的应用前景。重点介绍了氧化锌薄膜的研究进展以及存在的问题，井对氧化锌薄膜的末来进行了展望。
宽禁带氧化锌半导体薄膜的研究进展
【摘 要】
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氧化锌作为新一代化合物半导体，其禁带宽度对应紫外光的波长。氧化锌薄膜有望开发蓝光、蓝绿光、紫外光等多种发光器件，具有广阔的应用前景。重点介绍了氧化锌薄膜的研究进展以
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所 上海201800,上海201800,上海201800,上海201
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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2005年02期
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