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采用射频磁控溅射技术在石英玻璃上制备出了具有高度c轴择优取向的ZnO薄膜。利用X射线衍射（XRD）、背散射分析（RBS）、棱镜耦合等技术对其结构、光波导性质进行研究，结果表明减小溅射压强有利于提高薄膜的结晶质量，增强薄膜的c轴择优取向。溅射压强越小，薄膜越厚，薄膜的有效折射率越接近晶体材料的折射率。