高质量InAs单晶材料的制备及其性质

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：luping303

【摘要】

：

利用液封直拉法(LEC)生长了直径50mm〈100〉和〈111〉晶向的InAs单晶.分析研究了n型杂质Sn,S和p型杂质Zn,Mn的分凝特性、晶格硬化作用、掺杂效率等.利用X射线双晶衍射分析了

【作者】

：

赵有文孙文荣段满龙董志远杨子祥吕旭如

【机构】

：

中国科学院半导体研究所

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

砷化铟掺杂抛光

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

利用液封直拉法(LEC)生长了直径50mm〈100〉和〈111〉晶向的InAs单晶.分析研究了n型杂质Sn,S和p型杂质Zn,Mn的分凝特性、晶格硬化作用、掺杂效率等.利用X射线双晶衍射分析了晶体的完整性.对InAs晶片的抛光、化学腐蚀和清洗进行了分析,在此基础上实现了抛光晶片的开盒即用(EPI-READY).

其他文献

测井曲线判断油层的几种方法

本文针对一些地区个别层位的油气水性质的判别上仍经常出现失误,分析了油气聚集成藏后,如果地质运动使盖层封盖性能变差,油气藏就会被破坏,轻质组分大量散失,地层水潜入,重组

期刊

测井曲线总孔隙度渗透率盖层测井解释

FEATURES AND COMPARISONS OF THE QUASI-BIENNIAL VARIATIONS IN THE ASIA-PACIFIC MONSOON SUBSYSTEMS

The National Centers for Environmental Prediction (NCEP) reanalysis data Climate Diagnostics Center Merged Analysis of Precipitation (CMAP) results,and NOAA Ext

期刊

Asia-Pacific monsoonpower spectrumwave filteringmonsoon indicesquasi-biennia

房屋建筑工程渗漏现状及治理对策

我国房地产业的发展,极大的提高人民群众的生活质量,但随着发展的不断伸入,住房也开始出现各种各样的问题,房屋渗漏就是其中最为严重的一种,也是建筑行业中的一大通病,为有效

期刊

房屋渗漏质量设计施工

暗简式日照计的正确安装与维护

通过试验,检查日照计是否漏水,利用感光迹线来检查是否安装准确,并介绍正确的维护方法.

期刊

暗简式日照计安装感光迹线检查维护

创意产业R & D创新生态环境的生物成分及其关系

创意产业R&D创新生态环境中不同生物成分之间进行着信息、物质和能量的交换和流动,促进了产业发展。本文界定了创意产业R&D创新生态环境的基本内涵,分析了生态环境中政府、创

期刊

创意产业R&D创新生态环境生物成分关系研究

中国医药城打造宜居宜业新城

江苏省泰州市中国医药城坚持以产业化带动城市化,以城市化促进产业化,加速形成“产城一体、产城共荣”发展新格局,建设医药产业特色鲜明的现代化新城区,构筑起宜居宜业宜人的

期刊

医药城宜居宜业产城一体人的城市化

Distribution and migration of houbara bustard (Chlamydotis undulata)in China

The distribution and migration of houbara bustard in China was studied by range investigation and tracking through PTT satellite transmitter from 1997 to 2004.

期刊

houbara bustardChlamdods undulatedistributionmigrationChina

Deliverability of wells in carbonate gas condensate reservoirs and the capillary number effect

With the development of the Tazhong No.1 carbonate gas condensate reservoir in China, it has become more and more important to study the characteristics of gas

期刊

Carbonate reservoirgas condensatecapillary number effectwell deliverabilityd

公路下伏煤矿采空区勘察、设计现状及存在问题

煤矿采空区工程地质勘察、设计是目前中国公路工程建设所面临的热点问题之一.由于采空区工程地质条件复杂,到目前为止,在高速公路下伏采空区工程地质勘察、设计等方面尚未形

期刊

高速公路煤矿采空区工程地质问题勘察设计

AUV Load Separation Motion with Constraint of Anchor Chain

该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥

期刊

applied mechanicsautonomous underwater vehicleload separationmotion equation

高质量InAs单晶材料的制备及其性质

与本文相关的学术论文