【摘 要】
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利用60Co-γ射线对设计的GaAs基HEMT力敏结构进行了不同剂量的辐照,通过对辐照前后结构的电学特性、力敏特性分析对比,得到了γ辐照对力敏结构的损伤影响.与未辐照样品相比,90 MRad剂量辐照后HEMT力敏结构的漏极电流降低了约74％,辐照剂量高于100 MRad时,样品被击穿,失去工作特性.力敏特性测试结果表明,随着辐照剂量的不断增加,结构的灵敏度发生降低,90 MRad剂量辐照后结构的灵敏度降低了76％.
【机 构】
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太原工业学院电子工程系,太原,030008;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原,030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原,030051
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利用60Co-γ射线对设计的GaAs基HEMT力敏结构进行了不同剂量的辐照,通过对辐照前后结构的电学特性、力敏特性分析对比,得到了γ辐照对力敏结构的损伤影响.与未辐照样品相比,90 MRad剂量辐照后HEMT力敏结构的漏极电流降低了约74％,辐照剂量高于100 MRad时,样品被击穿,失去工作特性.力敏特性测试结果表明,随着辐照剂量的不断增加,结构的灵敏度发生降低,90 MRad剂量辐照后结构的灵敏度降低了76％.
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