【摘 要】
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<正> 前言 X、Y工作台是决定测量仪器和制造装置基本性能的重要机械部件。本文旨在追求当前的定位极限,主要就集成电路制造装置,特别是缩小投影式曝光装置(Stepper)(下称DSW
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<正> 前言 X、Y工作台是决定测量仪器和制造装置基本性能的重要机械部件。本文旨在追求当前的定位极限,主要就集成电路制造装置,特别是缩小投影式曝光装置(Stepper)(下称DSW—译者)的工作台,来讨论它的基本性能及其与DSW性能的关系。 DSW概述 缩小投影式曝光装置DSW,是用物镜将放大后制作在玻璃基片上的集成电路图形(即一次版)缩小投影地曝光在作为集成电路基体的硅片等上面的装置。在制造集成电路时,必须通过各种硅片的处理过程把十几种不同的图形以良好的精度套刻在一起。其套刻精度,一般约为图形线宽的1╱3～1/10。 设图形最小线宽为1.5μm,以其1/5作为集成电路的设计规则,则套刻精度为0.3
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