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研究了(002)向择优生长ZnO薄膜.利用真空蒸发法制备ZnO薄膜,衬底材料是镜面抛光石英片.实验结果表明,用此方法可获得高度择优定向生长的ZnO薄膜,氧化退火温度对ZnO薄膜的结构有重要影响.
真空蒸发法择优定向生长ZnO薄膜
【摘 要】
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研究了(002)向择优生长ZnO薄膜.利用真空蒸发法制备ZnO薄膜,衬底材料是镜面抛光石英片.实验结果表明,用此方法可获得高度择优定向生长的ZnO薄膜,氧化退火温度对ZnO薄膜的结构
【机 构】
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重庆大学应用物理系,重庆大学应用物理系
【出 处】
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光电子技术
【发表日期】
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2004年1期
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