精密“光机—光电”位移传感器的研究与设计

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提出了一种在普通扭簧比较仪上增加光学传动元件 新颖光学电传感元件的精密光机-光电位移传感器的设计新思路。这种传感器具有很高的灵敏度和分辨力,有较高的线性度和示值稳定性。
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