【摘 要】
：
本文在ＧａＡｓ／ＧａＡｌＡｓ选择性腐蚀的基础上进行了腐蚀ＧａＡｓ衬底层获得ＧａＡｓ／ＧａＡｌＡｓ外延层薄膜的二次腐蚀技术。最终选用了Ｃ３Ｈ４（ＯＨ）（ＣＯＯＨ３）·Ｈ２Ｏ－Ｈ２Ｏ２系选择性腐蚀液和Ｈ２ＳＯ４－Ｈ２Ｏ２系腐蚀液，获得了快速、可控制、重复性好的可全部可局部去除衬底的腐
论文部分内容阅读
本文在ＧａＡｓ／ＧａＡｌＡｓ选择性腐蚀的基础上进行了腐蚀ＧａＡｓ衬底层获得ＧａＡｓ／ＧａＡｌＡｓ外延层薄膜的二次腐蚀技术。最终选用了Ｃ３Ｈ４（ＯＨ）（ＣＯＯＨ３）·Ｈ２Ｏ－Ｈ２Ｏ２系选择性腐蚀液和Ｈ２ＳＯ４－Ｈ２Ｏ２系腐蚀液，获得了快速、可控制、重复性好的可全部可局部去除衬底的腐蚀方法。在国内首次获得了ＧａＡｓ／ＧａＡｌＡｓ较大面积的外延层薄膜。
Based on the selective etching of GaAs / GaAlAs, the etching process of GaAs / GaAlAs epitaxial layer was performed to etch the GaAs substrate. In the end, the selective etching solution of C3H4 (OH) (COOH3) · H2O-H2O2 and the etching solution of H2SO4-H2O2 were selected to obtain a fast, controlled and repeatable etching method which can partially remove the substrate locally. For the first time in China, a large area of GaAs / GaAlAs epitaxial film was obtained.
其他文献
我骗了徐教练足足一个月,被他臭骂一顿 好像经历了艰难的预赛、复赛直至杀进百米决赛,我终于跟大家站在同一起跑线上。 但是,很快,我就发现自己的想法太天真了。
I fool X
欧洲足球锦标赛的硝烟早已散尽,然而温布利大球场“德国战车”历尽坎坷却一往直前的壮举,以及老牌劲旅意大利、荷兰队的相继翻船和几支赛前大热门大黑马的纷纷败落的情景,仍
钓鱼比赛不同于常规体育比赛。与其它比赛区别是:既有竞技性的一面,又有娱乐性的一面。就比赛而言,比赛就是比赛,就是突出竞技。比赛中所设的总重量、总尾数,就能很好地体现
当前,高校图书馆资源整合开始从联邦检索过渡到发现系统,即通过元数据索引来揭示文献之间的关联,提供快捷的一站式检索服务。然而,这种文献层面的聚合无法满足用户基于目标主
目的:研究CXCR4及MMP-3的表达与大小肾癌生物学特性的关系。方法:在上海市第一人民医院泌尿外科2004年6月至2010年12月行手术治疗的肾癌患者里,任意抽出20例癌旁正常组织,30
1996年5月3日,北京时间14点55分,次仁多吉、边巴扎西,仁那、阿克布;5月4日,北京时间11点40分,旺加、洛则、达琼、加布,登上了世界第八高峰——马纳斯鲁峰。 这是中国西藏攀
以上海图书馆“缩微胶卷数字化”项目为例,探讨了馆藏历史文献在缩微胶卷数字化建设过程中的主要问题及工作对策。
Taking the project of “Digital Library of Microfilms
科学发现的脚步远远超过我们临床研究系统评估预防、诊断和治疗方针的能力。社会理所当然地要求有关部门提供证据,评估新的防治方针,使其取得公认。心血管临床试验设计和进行
经过了从GATT到WTO的发展，GATT1947／1994第20条资源保护例外条款的判例法已经基本上实现了资源保护与自由贸易之间的平衡，在承认成员有权采取资源保护措施的同时，对资源保护措施的实施方式施加了严格的限制。对GATr1947／1994第20条（g）款适用条件的解释和澄清，增强了该务款的可操作性，为今后的司法提供了有益的指导。我国要想充分运用资源保护条款，应对传统贸易强国的贸易保护和资源争夺，就必须首先做好GATT1994第20条（g）款适用条件的研究。
叙述紫外（ｉ 线）均匀照明光学系统构成原理和光能分布模拟计算设计方法。举例说明用开发的模拟设计软件ＯＰＴＥＮＧ，设计和模拟计算了一个大视场均匀照明光学系统，在照明面积为１００ｍ ｍ ×１００ｍ ｍ 范围内，照