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介绍了真空感应化学气相沉积炉控制系统的组成和功能,计算机监控系统的硬件结构，以及应用软件的功能。
真空感应气相沉积炉控制系统
【摘 要】
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介绍了真空感应化学气相沉积炉控制系统的组成和功能,计算机监控系统的硬件结构，以及应用软件的功能。
【机 构】
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辽宁省锦州变压器电炉厂
【出 处】
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工业加热
【发表日期】
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2001年3期
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