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论述了TiN薄膜的常用制备方法,工艺参数对膜结构、性能等的影响,展望了TiN薄膜制备的进一步发展趋势.
TiN膜的制备和进展
【摘 要】
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论述了TiN薄膜的常用制备方法,工艺参数对膜结构、性能等的影响,展望了TiN薄膜制备的进一步发展趋势.
【机 构】
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北京航空航天大学,上海交通大学
【出 处】
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新技术新工艺
【发表日期】
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2004年12期
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