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基于Mirau相移干涉法，在实验室环境下对微透镜阵列的微表面形貌进行了轮廓测量．实验使用He-Ne激光器作为光源，干涉成像系统由Mirau干涉物镜和其他光学元件组成．在实验中使用压电陶瓷执行器作为相移器，通过5步相移法计算待测表面形貌．实验结果表明，基于Mirau相移干涉法对微透镜阵列面形的测量，水平分辨率达到1．1μm，垂直测量准确度达到6．33nm，垂直测量范围为5μm．对于微透镜阵列的面形测量，通过将微透镜阵列划分为若干微小区域以保证局部面形最大高度小于5μm，然后辅以精密平移机构进行若干次5步相移