锂掺杂p型氧化锌薄膜的制备

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通过将含有原子百分含量为29/6锂(2at%)的锌锂(Zn—Li)合金薄膜在500℃氮气氛中退火2h,然后在700℃氧气氛下退火1h的方法分别制备出P型锂掺杂的氧化锌(ZnO:Li)薄膜。通过He—Cd激光器的325nm线激发,测量了样品低温(12K)发光光谱,并根据Zn—Li合金薄膜的低温发光光谱特征,计算出(LiZn-N)复合受主能级的位置位于价带顶137meV处。
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