煤的氩离子抛光-扫描电镜分析样品制备研究

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借助氩离子抛光技术对煤表面进行抛光,通过扫描电镜可以清晰观察真实的孔隙形貌结构,对判断孔隙类型有重要帮助。该文对阳极电压、抛光时间、离子束入射角、样品台转速等条件进行研究,利用扫描电镜对抛光后的表面进行观察,比较不同条件下的抛光效果,找到适合煤抛光的条件参数。
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