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给出了一种以激光外差干涉仪为基准，用计算机实现自动控制、等多项功能的光栅尺高精度自动检测系统。与传统检测方法相比，具有精度高、等优点。该系统现已用于大批量生产的光栅尺检测。
全自动光栅尺激光外差动态检测系统
【摘 要】
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给出了一种以激光外差干涉仪为基准，用计算机实现自动控制、等多项功能的光栅尺高精度自动检测系统。与传统检测方法相比，具有精度高、等优点。该系统现已用于大批量生产的光栅
【机 构】
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深圳大学工程技术学院
【出 处】
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深圳大学学报：理工版
【发表日期】
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2000年1期
【基金项目】
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广东省科委重点科技攻关项目,深圳市科技局资助!9708
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