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日前．“微电子与纳米材料及特性材料测量技术和计量基标准的研究”课题及其子课题“2．5维大范围纳米结构测量系统”通过了国家质检总局的验收。验收会由国家质检总局科技司王越薇处长主持。
微电子与纳米材料及特性材料测量技术和计量基标准的研究通过验收
【摘 要】
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日前．“微电子与纳米材料及特性材料测量技术和计量基标准的研究”课题及其子课题“2．5维大范围纳米结构测量系统”通过了国家质检总局的验收。验收会由国家质检总局科技司王越
【机 构】
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《中国计量》
【出 处】
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中国计量
【发表日期】
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2006年3期
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