【摘 要】
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针对MEMS（micro-electro-mechanical system）和NEMS（nano-electro-mechanical system）对薄膜应力测试的要求,开发了一种新型高灵敏度薄膜应力测试技术,使用自行搭建的准纳米光学
【机 构】
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北京大学微电子学研究院,天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(批准号:50535030)~~
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针对MEMS（micro-electro-mechanical system）和NEMS（nano-electro-mechanical system）对薄膜应力测试的要求,开发了一种新型高灵敏度薄膜应力测试技术,使用自行搭建的准纳米光学干涉测试系统,利用局部基底弯曲来检测薄膜的内应力.该方法不仅保留了传统基底弯曲法的所有优点,而且消除了其系统误差.使用ANSYS对测试结构进行了模拟和优化,对于30nm厚的薄膜,应力检测的分辨率为1.5MPa,优于目前国际上的相关报道.本测试结构使用各向异性腐蚀和DRIE
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