压电—电流变平面二维步进式驱动器

来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hangcheng8351

【摘要】

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首次提出了一种利用压电效应和电为效应相结合的新型平面步进式驱动器，研制的驱动器包括４个提供驱动力和产生位移的以压电致动器，以及４个用来箝位器，根据仿生运动模式，箝位器与压电

【作者】

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邱虹云褚祥诚

【机构】

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清华大学材料科学与工程系,新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室

【出处】

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压电与声光

【发表日期】

：

2000年6期

【关键词】

：

压电电流变液体平面步进驱动器 piezoelectric ERfluid planarsteppermotor

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首次提出了一种利用压电效应和电为效应相结合的新型平面步进式驱动器，研制的驱动器包括４个提供驱动力和产生位移的以压电致动器，以及４个用来箝位器，根据仿生运动模式，箝位器与压电致动器采用不同的运动组合，可分别实现沿ｘ和或ｙ向的蠕动式步式运动，实验结果显示，平面步进驱动器机在ｘ向和ｙ向都能灵活运动，并具有大行程和低于０．１μｍ的高的分辨率特性，驱动器的最高步进速度为６ｍｍ／ｍｉｎ最大承载能力为１．７０Ｎ

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