【摘 要】
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在介绍离子敏场效应晶体管（ISFET）传感器的应用和基本工作原理的基础上，阐述了集成化ISFET传感器的研究现状，包括ISFET敏感膜及其制造工艺与CMOS兼容性研究、集成化读出电路、多
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在介绍离子敏场效应晶体管（ISFET）传感器的应用和基本工作原理的基础上，阐述了集成化ISFET传感器的研究现状，包括ISFET敏感膜及其制造工艺与CMOS兼容性研究、集成化读出电路、多传感器集成等方面。展望了ISFET传感器的研究趋势，认为在以下方面值得探索和研究：敏感膜是把化学变量转换为电学变量的关键；高性能读出电路的研究；集ISFET、读出电路及后端信号处理电路于一体的低功耗ISFET传感器的系统集成；多功能、智能化的多传感器集成；研究集微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及
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