【摘 要】
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建立了微波消解-ICP-AES法同时测定多晶硅中磷、镍、钴、硼、铁、镁、铬、铝、钒、铜、钛、钇12种杂质元素含量的方法,避免了传统湿法消解过程中导致的硼元素损失。采用耐氢
【机 构】
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龙岩出入境检验检疫局,国家矿产品检测重点实验室,福州大学化学化工学院
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建立了微波消解-ICP-AES法同时测定多晶硅中磷、镍、钴、硼、铁、镁、铬、铝、钒、铜、钛、钇12种杂质元素含量的方法,避免了传统湿法消解过程中导致的硼元素损失。采用耐氢氟酸进样系统直接进样,无需加热赶酸,极大地提高了分析效率。采用标准加入法定量,克服了硅的基体干扰,各元素的检出限在0.002-0.04μg/mL范围内,加标回收率为94.5%-106.5%,相对标准偏差（n=3）为0.2%-3.3%。
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