【摘 要】
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Carbon nitride films,especially β-C_3N_4, as a new predicted superhard material,havebeen studied extensively during the past several years since they exhibit
【机 构】
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Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100080, China,Institute of Physics, Chine
【出 处】
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Chinese Science Bulletin
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Carbon nitride films,especially β-C_3N_4, as a new predicted superhard material,havebeen studied extensively during the past several years since they exhibit potentialphysical and chemical properties.In consideration of the thermal behavior of CN_xfilms,much attention has been focused on the influence of temperatures at substrate on de-positing process.However,we have not obtained sufficient information concerningthermal behavior of CN_x films annealed in air for a long time,particularly the relation
Carbon nitride films, especially β-C_3N_4, as a new predicted superhard material, havebeen studied extensively during the past several years since they exhibit potential physical and chemical properties. Consideration of the thermal behavior of CN_xfilms, much attention has been focused on the influence of temperatures at substrate on de-positing process. However, we have not achieved sufficient information concerning thermal behavior of CN_x films annealed in air for a long time, particularly the relation
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