【摘 要】
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我们在低压金属有机汽相沉积（ＭＯＣＶＤ）设备上采用两步升温法与金属有机源流量周期调制生长界面过渡层方法制备出ＧａＡｓ－ＩｎＰ材料，并对此进行了Ｘ－射线衍射、低温光致发光谱（ＰＬ）和Ｒａｍａｎ谱分析，结果表明，ＧａＡｓ外延层的位
【机 构】
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集成光电子学国家联合重点实验室吉林大学实验区
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我们在低压金属有机汽相沉积（ＭＯＣＶＤ）设备上采用两步升温法与金属有机源流量周期调制生长界面过渡层方法制备出ＧａＡｓ－ＩｎＰ材料，并对此进行了Ｘ－射线衍射、低温光致发光谱（ＰＬ）和Ｒａｍａｎ谱分析，结果表明，ＧａＡｓ外延层的位错密度低于用两步升温法得到的ＧａＡｓ材料，ＰＬ谱峰较强，ＧａＡｓ的特征激子峰和杂质相关的激子峰同时被测到．Ｒａｍａｎ谱ＰＬ谱的峰移表明ＧａＡｓ外延层处于（１００）双轴伸张应力下，应力大小随温度变化是由于ＧａＡｓ、ＩｎＰ之间的热膨胀系数不同。
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