论文部分内容阅读
根据ISO-11254分别测量了脉宽1ms，波长1064nin激光作用下Tm／SiO2高反膜、增透膜的损伤阈值，结合高分辨率CCD和光学显微镜观测了损伤形貌，分析了毫秒量级激光损伤光学薄膜的损伤机理．结果表明：脉宽1ms激光作用下TiO2／SiO2增透膜的损伤阈值为高反膜的2．4倍，损伤区域为若干分离的损伤点，认为损伤是由膜层中含有的缺陷或杂质引起的．读数显微镜的结果显示，长脉冲激光作用下薄膜元件的损伤厚度为（180±5）μm．研究结果可供脉宽为ms量级的激光与光学薄膜相互作用的基础研究提供参考