【摘 要】
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本文对氧化沟工艺的原理及其技术特点进行了阐述,并对氧化沟的分类及几种常用的氧化沟的工作原理和结构进行了具体的介绍,如Carrousel氧化沟、Orbal氧化沟、一体式氧化沟等,
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本文对氧化沟工艺的原理及其技术特点进行了阐述,并对氧化沟的分类及几种常用的氧化沟的工作原理和结构进行了具体的介绍,如Carrousel氧化沟、Orbal氧化沟、一体式氧化沟等,简要概述了氧化沟工艺在实际工程中的具体应用,并对未来发展方向进行了展望。
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