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靶材制造对5N5原材料的内部缺陷控制有着很高的要求,无论是靶材制造中的母材和散热背板的Bonding焊接、还是5N5超高纯铝靶材原料的熔炼提纯生产,都提出了内部缺陷的控制要求。目前水浸式超声探伤C扫描系统（C-Scan）在这方面越来越广地被应用,本文主要从设备的软硬件功能差异、性能指标及稳定性、关键参数设定等对最终的检测结果的影响,结合探伤工件的不同（包括材料、组织、晶粒大小、取向、表面粗糙度、探伤深度等）需要选择的超声探头、频率带宽、波形、增益范围、扫查速度、水层厚度,A扫、B扫的辅助应用对利用水浸式超