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给出基于硅的微机械光开关的设计分析.优化设计了光开关结构,提出了一种降低扭臂式结构光开关驱动电压的方法.并根据不同结构,给出了静电驱动等方面的分析结果.
MOEMS光开关静电驱动的优化设计
【摘 要】
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给出基于硅的微机械光开关的设计分析.优化设计了光开关结构,提出了一种降低扭臂式结构光开关驱动电压的方法.并根据不同结构,给出了静电驱动等方面的分析结果.
【机 构】
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吉林大学集成光电子学国家重点实验室
【出 处】
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光电子技术
【发表日期】
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2002年4期
【基金项目】
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吉林省科技发展计划
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